氣體圈子訊，11月25日，據(jù)科創(chuàng)板上市委2022年第96次審議會議結果顯示,廣東華特氣體股份有限公司公開發(fā)行可轉債獲通過。 此次擬募資總額不超6.46億元，其中3.83億元用于年產1764噸半導體材料建設項目，7300萬元用于研發(fā)中心建設項目，其余1.9億元用于補充流動資金。

“我國是全球半導體消費大國，半導體行業(yè)景氣度持續(xù)走高，但國內半導體用電子氣體市場一直被國際巨頭壟斷，為我國半導體供應鏈的健康發(fā)展帶來了不確定性。華特氣體募投項目中的產品應用于半導體生產的關鍵環(huán)節(jié)，該項目的實施有助于提升公司產能，擴大公司經營規(guī)模，從而帶動本土企業(yè)積極參與國際競爭，推動國產替代的發(fā)展進程。”深度科技研究院院長張孝榮向《證券日報》記者表示。

募資加碼半導體用特種氣體

據(jù)悉，在半導體材料中，電子特種氣體幾乎滲透到集成電路生產的每個環(huán)節(jié)，對集成電路的性能、集成度和成品率都有重大影響，被稱為半導體制造的“糧食”。

華特氣體表示，募投項目產品均為電子特種氣體，廣泛應用于半導體生產的蝕刻、摻雜、沉積等工藝。其中，高純一氧化碳、高純一氧化氮、超高純氫氣及超純稀有氣體系公司原有的優(yōu)勢產品，近年來下游需求不斷增長，目前公司產能出現(xiàn)瓶頸，亟須擴產。

稀有氣體是半導體生產過程中所需的關鍵材料之一，主要應用于光刻、蝕刻、 冷卻等環(huán)節(jié)。本次募投項目規(guī)劃生產高純氪氣、氖氣、氙氣、氦氣相關稀有氣體共135噸，通過外購粗品純化的方式進行生產。

而高純六氟丙烷、電子級溴化氫和電子級三氯化硼為公司規(guī)劃的新產品，相關產品均著眼于下游半導體等應用領域的未來發(fā)展趨勢，結合下游客戶的需求所布局，相關產品均具備較大的未來市場空間和國產化替代空間。

事實上，華特氣體擴產電子特種氣體的動作不止于此。公司還曾于9月26日晚發(fā)布公告表示，戰(zhàn)略布局華東生產基地項目。項目總投資5億元。建成后可生產2000噸/年高純氟碳氣體、1000噸/年高純二氧化碳和1000噸/年高純氧化亞氮等電子氣體。高校實驗室半導體潔凈車間特氣集中供氣

加速實現(xiàn)國產替代

電子特種氣體地位重要且市場空間廣闊，但目前國內自主生產的電子特種氣體市場份額占比較小，還有較大的突破空間。華特氣體表示，長期以來，我國6N及6N以上的超高純氣體以及半導體前驅體材料主要依賴于國外進口，國內行業(yè)內企業(yè)亟待能夠打破國外壟斷、實現(xiàn)國產替代，形成自主可控的產業(yè)集群。

以華特氣體此次規(guī)劃的新產品電子級三氯化硼為例，電子級三氯化硼是用于半導體和集成電路領域的高純度三氯化硼，其純度需要達到99.99%以上。電子級三氯化硼主要應用于電子工業(yè)硅半導體器件和集成電路生產所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝，其雜質含量和純度直接影響半導體器件和集成電路的性能指標和良率，純度一般要求在5N以上，生產技術壁壘較高。

華特氣體相關負責人表示，“公司本次募投項目規(guī)劃電子級三氯化硼共300噸，主要目標是對目前我國集成電路等領域使用的電子級三氯化硼產品進行一定程度的國產替代。同時也有同行業(yè)其他公司在向這個目標努力。本次募投項目將進一步提高半導體材料國產化率，此外還能進一步完善公司產品布局，擴充公司氣體產品種類，為公司后續(xù)的業(yè)績貢獻新的利潤增長點?！?/p>

來源：氣體圈子公眾號