| 氣體名稱 | 材料：不銹鋼 | 材料：黃銅 | 材料：氯丁橡膠 | 材料：氟橡膠 |
| 氬氣(Ar)，二氧化碳(CO2)，氨氣(He)，氫氣(H2) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 甲烷(CH4)，氮?dú)?N2)，乙烷(Ethane) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 乙稀(Ethylene)，乙快(C2H2)，空氣(Air) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 笑氣(N202)，硅甲烷(SiH4)，六氟化硫(SF6) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 丁烷(Butane)，環(huán)丙烷(Cyclopropane) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 異丁烷(Losbutane)，氪( Krypton )，氖氣(Neon) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 丙烷(Propane)，氙氣(Xe)，五氟氯乙烷(C2CIF5) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 砷化氫(Arsine)，砷烷(AsH3)，溴三氟甲烷(CBrF3) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 六氟乙烷(C2F6)，三氟化氮(NF3)，四氟甲烷(CF4) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 乙硅烷(SiF6) | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 氯氣(CI2)，氟氣(F2)，六氟化鎢(WF6) | ☉ | ● | ● | ○ |
| 氧氣(O2)，一氧化碳(CO)，乙硼烷(Piborane) | ○ | ○ | ● | ○ |
| 氯化氫(HCL) | ☉ | ● | ○ | ○ |
| 硫化氫(H2S)，三氟化硼(BCI3)，一氧化氮(NO) | ○ | ● | ● | ○ |
| 磷化氫(PH3) | ○ | ● | ● | ○ |
| 二氧化硫(SO2) | ○ | ○ | ● | ● |
| 三氟化硼(BF3)，二氯硅烷(SiH2CI2) | ○ | ● | ● | ● |
| 四氯化硅(SiCI4) | ○ | ● | ● | ● |
| 氯甲烷(CH4Cl) | ○ | ● | ○ | ○ |
| 溴化氫(Hydrogen)，四氟化硅(SiF4) | ☉ | ☉ | ||
| 氨氣(NH3) | ○ | ● | ○ | ● |
| ○代表適用 ●代表不適用 ☉代表有水份的情況不適用 | ||||
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